下载检测系统、拼接系统、检测方法、拼接方法与拼接光栅尺的技术资料

文档序号:20042081

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本发明涉及精密测量领域,公开了一种检测系统、拼接系统、检测方法、拼接方法与拼接光栅尺,检测系统包括支撑平台,支撑平台用于放置待检测的光栅,并可供光栅相对支撑平台移动;检测光源,检测光源用于向光栅射出第一光束,第一光束经光栅形成至少两道第二光...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。

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