下载一种可提供位置和角度基准的光学基准件的标定方法的技术资料

文档序号:20042079

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本发明涉及一种可提供位置和角度基准的光学基准件的标定方法,待标定的光学基准件的表面加工有旋转抛物面阵列,所采用的设备包括辅助运动台,光学位置读数头和激光干涉仪。采用以下的步骤:干涉镜组和反射镜选择直线度测量镜组使所述光学位置读数头在运动轴的...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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