下载一种喷涂机及其精密光阻喷涂治具的技术资料

文档序号:20032754

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本实用新型公开了一种喷涂机及其精密光阻喷涂治具,其中精密光阻喷涂治具包括:治具底座;设置在治具底座的顶面的凸台,凸台的侧壁自上而下渐扩,凸台上顶面的边缘小于待喷涂工件的外缘,且下底面的边缘超出待喷涂工件的外缘;固定在凸台上的吸嘴。应用本实用...
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