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本发明公开了一种多晶硅片智能化清洗装置，包括清洗筒、筒盖和承载部，所述承载部包括第一盛装篮、第二盛装篮和第三盛装篮，所述清洗筒内具有超声发生装置，所述清洗筒连接有进液管和出液管，所述进液管处具有第一阀门，所述出液管处具有第二阀门，所述筒盖内...
该专利属于江苏德润光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏德润光电科技有限公司授权不得商用。

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