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在优选的方面，提供了有机涂料组合物，特别是与外涂光致抗蚀剂一起使用的抗反射涂料组合物，其包含1)一个或多个经取代尿嘧啶部分；和2)一个或多个反应的二羧酸基团。...
该专利属于罗门哈斯电子材料韩国有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗门哈斯电子材料韩国有限公司授权不得商用。

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