下载亚波长全息光栅防伪器件的制作方法的技术资料

文档序号:20022899

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本发明提出的亚波长全息光栅防伪器件的制作方法,涉及全息器件制作技术领域,具体包括以下步骤:步骤1、清洗;步骤2、匀胶,为了得到较好的曝光效果就需要硅片上的光刻胶厚度均匀;步骤3、电子束光刻,利用高电压下加速形成的电子束入射到光刻胶上,使光刻...
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