下载用于光片式地照明样本的装置和方法的技术资料

文档序号:20022431

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介绍一种用于光片式地照明样本的装置(10),其包括用于产生照明光束(26)的光源(12)和用于将所述照明光束(26)聚焦成光片式的照明光分支的聚焦系统(14),利用该照明光分支可对所述样本的聚焦平面(E)照明。该装置(10)还包括用于将光片...
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