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本发明提出了一种基于raphael仿真和互连线测试结构的无SEM数据的ITF电容参数的提取结构和方法,以精确有效的提取ITF电容参数。该方法包含了五种电容的测量和仿真,在raphael仿真时逐渐改变部分ITF参数,并将仿真结果和实测值进行对...该专利属于上海卓弘微系统科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海卓弘微系统科技有限公司授权不得商用。
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本发明提出了一种基于raphael仿真和互连线测试结构的无SEM数据的ITF电容参数的提取结构和方法,以精确有效的提取ITF电容参数。该方法包含了五种电容的测量和仿真,在raphael仿真时逐渐改变部分ITF参数,并将仿真结果和实测值进行对...