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无碱玻璃基板、层叠基板和玻璃基板的制造方法技术
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文档序号:20019779
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本发明提供一种磨削率高且在将硅基板与玻璃基板贴合的热处理工序中在所述硅基板产生的残留应变小的无碱玻璃基板。本发明的无碱玻璃基板以氧化物基准的摩尔百分比计含有11.0%以上的Al2O3、8.0%以上的B2O3、1%以上的SrO,且在100℃~...
该专利属于AGC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过AGC株式会社授权不得商用。
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