温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器，包括传感器本体，所述传感器本体内含有激光二极管的准直模块、衍射光栅、光阑、滤光片、成像透镜和CMOS线性图像传感器。该激光位移传感器的激光二极管准直模块发出准直光束，光束经过被测物表面漫...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。