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本发明提出一种基于键合的薄膜体声波谐振器及其加工方法，其中，基于键合的薄膜体声波谐振器包括：衬底，设置在所述衬底上的第一金属柱和第二金属柱；以及设置于所述第一金属柱和所述第二金属柱之间的压电薄膜堆叠结构，其中，所述压电薄膜堆叠结构包括第一电...
该专利属于杭州左蓝微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州左蓝微电子技术有限公司授权不得商用。

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