温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了用于通过原子层沉积将过渡金属氮化物膜沉积在基材上的方法和相关沉积设备。所述方法包括：在反应空间内的基材支架上提供至少一个基材；至少在至少一个腔室壁上暴露于气相反应物中的那些部分处控制至少一个腔室壁的温度；控制喷头的温度；将至少两...
该专利属于ASMIP控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASMIP控股有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。