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一种量子超导芯片热连接件以及制作方法技术
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文档序号:20009122
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本发明公开一种量子超导芯片热连接件以及制作方法,所述量子超导芯片热连接件包括:与固态制冷机冷头表面贴合设置的热沉;设置于所述热沉远离于所述固态制冷机冷头的一侧面上的夹具组件;以及夹设于所述夹具组件与热沉之间的量子超导芯片;其中,所述夹具组件...
该专利属于北京无线电计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京无线电计量测试研究所授权不得商用。
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