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本申请提供了一种6英寸图形化蓝宝石衬底及制备方法和LED外延片，涉及LED技术领域，方法包括提供蓝宝石衬底；在蓝宝石衬底的表面涂覆一层光刻胶；对涂覆有光刻胶的蓝宝石衬底进行曝光、显影，形成图案化掩膜层，图案化掩膜层包括由分割道隔开的多个柱状...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。

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