下载一种多孔有源层场效应紫外探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:20009029

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本发明公布了一种多孔有源层场效应紫外探测器及其制备方法,探测器包括SiO2/Si衬底、多孔有源层、源电极和漏电极,SiO2/Si衬底包括下方的Si层和上方的SiO2层,其中Si层为栅电极,SiO2层为绝缘层;多孔有源层设置在SiO2/Si衬...
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