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本发明专利公布了一种日盲紫外探测器结构、制备方法及性能测试方法，结构包括Ni/Au电极、Al0.4Ga0.6N有源层、低温AlN成核层、高温AlN缓冲层和图形化蓝宝石衬底。日盲紫外探测器制备方法，首先在衬底上生长获得器件低温AlN成核、Al...
该专利属于镇江镓芯光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江镓芯光电科技有限公司授权不得商用。

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