下载温度循环测试时阻止产生裂纹的器件和工艺方法的技术资料

文档序号:20008467

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本发明公开了一种温度循环可靠性测试时阻止钝化层产生裂纹的器件,将顶层金属和钝化层窗口制作成圆弧形,增加钝化层的厚度,使钝化层厚度大于顶层金属的厚度。本发明还公开了一种温度循环可靠性测试时阻止钝化层产生裂纹的工艺方法。本发明能够有效解决钝化层...
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