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本申请提出了一种阵列基板及其制作方法,所述制作方法为通过对所述有源层进行一次离子掺杂,利用特定工艺使经过掺杂的所述有源层形成第一掺杂区和第二掺杂区。本申请通过在现有工艺以及未增加光罩的基础上,在AMOLED中增加PMOS的LDD结构,有效的...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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