下载半导体制备方法的技术资料

文档序号:20008410

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本发明涉及半导体技术领域,公开了一种半导体制备方法,包括如下步骤:步骤S1:提供具有介电层的衬底,在介电层上形成开口;步骤S2:在介电层上沉积第一金属膜层,第一金属膜层的金属填满开口;步骤S3:在第一金属膜层上沉积第二金属膜层,该第二金属膜...
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