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本发明公开了一种晶圆传载手臂，包括：晶圆承载装置、真空发生器、与控制模块通讯连接的气动阀门、以及排风装置；晶圆承载装置包括承载盘，承载盘上表面设置有积液槽，承载盘两端设置有阻挡部，承载盘内部铺设有管道；真空发生器的出气口与晶圆承载装置中的管...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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