下载一种芯片内两金属层间通孔连接的辨别方法的技术资料

文档序号:20008308

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本发明公开了一种芯片内两金属层间通孔连接的辨别方法,在第二金属层时,初步判断是否存在通孔虚假连接的状态,确定多处通孔的位置,进行FIB的纵切确认,若确认芯片在制作工艺中使用了虚假通孔后,运用IBE对第二金属层的表面进行轻微蚀刻,将通孔在高度...
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