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一种芯片内两金属层间通孔连接的辨别方法技术
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文档序号:20008308
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本发明公开了一种芯片内两金属层间通孔连接的辨别方法,在第二金属层时,初步判断是否存在通孔虚假连接的状态,确定多处通孔的位置,进行FIB的纵切确认,若确认芯片在制作工艺中使用了虚假通孔后,运用IBE对第二金属层的表面进行轻微蚀刻,将通孔在高度...
该专利属于苏州芯联成软件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州芯联成软件有限公司授权不得商用。
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