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一种金属层功函数的检测方法及其检测系统，检测方法包括：提供基底，包括衬底、以及位于衬底上的待测金属层，衬底具有衬底功函数；提供输出功率至少为100瓦的光源；提供参比电极；关闭光源，获得待测金属层与参比电极之间的第一接触电势差；打开光源，对待...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。