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本发明的课题在于提供高分辨率且能够小型化的电子束装置、以及具备该电子束装置的X射线产生装置和扫描电子显微镜。电子束装置(1)具备：阴极(21)，所述阴极放射电子；阳极(23)，所述阳极是形成电场以便借助从阴极(21)放射出的电子来形成电子束...
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