温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于半监督学习的晶圆图批量分析方法，该方法包括以下步骤：对晶圆图进行预处理；对预处理后的晶圆图进行筛选；使用有标签及无标签晶圆图训练半监督模型；筛选无标签晶圆图优化半监督模型；进行晶圆图分析。本发明能够利用少量有标签晶圆图建...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。