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本实用新型公开了一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备。该柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备实时对机械从动进行监控，卷对卷速度张力自动纠正，线性源加热单位分开保护，加热温度在线监控，实时控制，同时可通过扩散泵和机械泵组逐级抽真空，保证工艺环境的稳定...
该专利属于浙江尚越新能源开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江尚越新能源开发有限公司授权不得商用。

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