下载一种能够提高镀膜均匀性的石墨载具的技术资料

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本实用新型的能够提高镀膜均匀性的石墨载具,沉积炉内设置若干横向并列的能够装载太阳能晶硅电池片的石墨舟,每片石墨舟通过支撑架支撑固定,相邻支撑架之间通过陶瓷支撑套分隔支撑,支撑架之间距离不均匀,位于外侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间...
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