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本实用新型属于光学检测领域,尤其涉及一种一种可实现离轴反射镜高低点位置精确测量的系统。本实用新型解决了离轴反射镜在加工过程中以及装调过程中难以精确标定高低点位置的问题。本实用新型可精确标定离轴抛物面反射镜高低点位置的系统,包括平台、激光干涉...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。
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本实用新型属于光学检测领域,尤其涉及一种一种可实现离轴反射镜高低点位置精确测量的系统。本实用新型解决了离轴反射镜在加工过程中以及装调过程中难以精确标定高低点位置的问题。本实用新型可精确标定离轴抛物面反射镜高低点位置的系统,包括平台、激光干涉...