下载高真空环境下介质材料表面电位主动控制系统的技术资料

文档序号:19971822

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本实用新型公开了一种高真空环境下介质材料表面电位主动控制系统,包括等离子体源体、微波系统和供气系统,微波系统包括微波电源系统和微波传输系统,微波电源系统通过微波传输系统将微波传输至等离子体源体的等离子体室内,供气系统包括气体储存系统和气体控...
该专利属于中国人民解放军陆军工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军陆军工程大学授权不得商用。

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