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本实用新型涉及一种具有频率选择功能的电容式MEMS麦克风。现有电容式MEMS麦克风不具备选用或调节麦克风的拾音频率范围功能。本实用新型由下向上依次包括硅衬底、SiO2刻蚀停止层、下多晶硅圆环电极、SiO2支撑层、上多晶硅振膜层。贯穿硅衬底、...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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