下载一种横向锗探测器结构及制备方法的技术资料

文档序号:19968089

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本发明公开一种横向锗探测器结构,其中,横向锗探测器结构为横向光电二极管结构,包括硅衬底;硅氧化层沉积于硅衬底的上表面;硅氧化层上包括顶层硅,顶层硅的一侧形成第一掺杂区域,于第一掺杂区域的上表面形成第一电极;顶层硅的上表面形成耦合层,于耦合层...
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