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本发明提供一种功率器件及其制作方法，包括：提供第一导电类型的衬底；在第一导电类型的第一外延层内形成第二导电类型的第一注入区和第二注入区；在所述第一外延层上形成第一导电类型的第二外延层；在第一沟槽内交替形成第一导电类型的第三外延层以及第二导电...
该专利属于深圳市福来过科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市福来过科技有限公司授权不得商用。

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