温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种阵列面板的检测修复方法和光阻修补装置，该方法包括提供一基板，并在基板上沉积金属层，之后在所述金属层上涂覆光阻，并显影形成金属线图形，再检测所述金属线图形对应的光阻是否有异常情况，若有，对所述异常情况进行修复，最后刻蚀金属层形成...该专利属于惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司授权不得商用。