下载电阻模型物理参数提取方法的技术资料

文档序号:19964497

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本发明公开了一种电阻模型物理参数提取方法,包括步骤:步骤一、制作多个电阻,测试各电阻的长度、宽度和电阻值;步骤二、选取电阻模型物理参数,电阻模型物理参数包括3个,分别为:归一化方块电阻,修正线长,修正线宽;步骤三、设定电阻累积误差函数,公式...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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