下载一种薄膜样品的力学性质测量方法的技术资料

文档序号:19961007

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本发明涉及材料科学领域,一种薄膜样品的力学性质测量方法,将透镜探针切换到探头的探针位I;控制微驱动器使得透镜探针移动至刚好接触样品表面;显微镜物镜实时记录样品图像;法向力测量:控制微驱动器使得透镜探针继续向样品表面施加压力,记录反射镜I和反...
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