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本发明提供了一种激光损伤硅基或锗基光学元件表面形貌数字化表征方法，以解决现有方法仅能定性描述损伤形貌、表征结果不足以支持后续系统输出特性分析，或者虽然能完整获取损伤表面信息但数据量过大的问题。本发明首先对光学元件的损伤表面进行三维形貌测试，...
该专利属于西北核技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过西北核技术研究所授权不得商用。

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