下载一种碳化硅籽晶片的粘合治具的技术资料

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本实用新型公开了一种碳化硅籽晶片的粘合治具,包括炉体、底座和坩埚盖,炉体的内部设有边槽,且边槽的内部设有密封板,密封板顶端的中部设有第一加热器,第一加热器的顶部设有坩埚盖,坩埚盖的两侧设有籽晶夹具,坩埚盖的顶部设有籽晶,本实用新型一种碳化硅...
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