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本发明提供一种超稳定的银钽复合材料表面增强拉曼散射基底及其制备方法，采用磁控溅射沉积银、钽复合薄膜，将清洗干净的单晶硅片抽真空并沉积铬膜；控制电流强度，分别精确调控银、钽元素沉积速率，维持腔室反应压力，持续溅射沉积银、钽元素形成双金属复合材...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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