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422机床专用晶托制造技术
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下载422机床专用晶托的技术资料
文档序号:19948643
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本实用新型提供了一种422机床专用晶托,属于硅片加工设备技术领域,包括用于盛放晶销或籽晶的托盘及用于与机床工作台相连的底座,所述底座上设有用于固定所述托盘的台架,所述台架与所述底座之间设有旋转机构。本实用新型提供的422机床专用晶托通过旋转...
该专利属于邢台晶龙电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过邢台晶龙电子材料有限公司授权不得商用。
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