下载一种三极管及其制作方法的技术资料

文档序号:19937206

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本发明涉及一种三极管及其制作方法,所述三极管包括:第一导电类型的衬底;形成在所述衬底上的第一导电类型的外延层;形成在所述外延层内的沟槽;形成在所述沟槽底部以及侧壁的第一导电类型的发射区;形成于所述外延层内且包围所述沟槽的第二导电类型的基区;...
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