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一种三极管及其制作方法技术
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文档序号:19937206
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本发明涉及一种三极管及其制作方法,所述三极管包括:第一导电类型的衬底;形成在所述衬底上的第一导电类型的外延层;形成在所述外延层内的沟槽;形成在所述沟槽底部以及侧壁的第一导电类型的发射区;形成于所述外延层内且包围所述沟槽的第二导电类型的基区;...
该专利属于深圳市福来过科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市福来过科技有限公司授权不得商用。
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