下载一种低导通功耗绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管的技术资料

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本发明涉及功率半导体技术,特别涉及一种低导通功耗绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管。本发明对传统横向绝缘栅双极型晶体管的阴极区进行了改造,通过隔离氧化层将器件分为MOS区和传统LIGBT结构区,MOS区分为第一NMOS区和第二MOS区,第一N...
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