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本发明提供了一种光配向设备及其运动和旋转方法，通过采用运动装置可将照明系统沿移动出照明系统工作区域，通过旋转照明系统、第11转动臂、……、第1i转动臂、……、和第1n转动臂，实现了对线栅、滤光片及光源进行维护，进而实现了对特定照明系统的维护...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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