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一种超光谱探测微系统，包括：光收集耦合模块，波导分光芯片和光谱数据处理模块，其中波导分光芯片包括级联MZI波导滤波器、波导光开关阵列、热光调相MZI阵列和片上集成线阵探测器。本发明集成了集成硅基级联MZI阵列波导技术，热光调相技术、硅基光谱...该专利属于中国电子科技集团公司信息科学研究院;中国电子科技集团公司第三十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司信息科学研究院;中国电子科技集团公司第三十八研究所授权不得商用。