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本实用新型公开了一种GaN外延晶片界面热阻的测量装置，包括：紫外脉冲激光器、连续激光器、透镜组、二向色分光镜、紫外线聚焦物镜、光电探测器；还包括：半透镜、带通滤波片、凸透镜、CCD相机。本实用新型将加热激光设定为波长为355nm的紫外脉冲激...
该专利属于哈尔滨工业大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学深圳研究生院授权不得商用。

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