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本实用新型涉及一种双行程混合驱动微纳米压痕/划痕测试装置，属于精密传感器及精密仪器技术领域。由混合驱动单元、载荷检测与量程切换单元、位移检测单元、样品移动单元、基座、支撑板和导轨滑块组件组成。本实用新型利用音圈电机、压电叠堆‑柔性铰链实现混...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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