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一种硅烷浸渍深度检测装置及方法制造方法及图纸
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下载一种硅烷浸渍深度检测装置及方法的技术资料
文档序号:19930922
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本发明公开了一种硅烷浸渍深度检测装置及方法。该装置包括:超声波探头、信号比较器和计时器、数据传输装置和数据处理器;信号比较器用于接收超声波回波电信号,并将超声波回波电信号的波幅值与第一预设阈值对比;计时器用于记录超声波回波电信号的波幅值第一...
该专利属于中南大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学授权不得商用。
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