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本实用新型公开了一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，所述缓存装置包括：底架，所述底架上设有运载花篮的传输装置，花篮放置在传输装置上，至少一个花篮经传输装置从底架一端移动到行程末端；所述底架下方设有举升花篮的举升装置，举升装置将到达行...
该专利属于江苏微导纳米装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米装备科技有限公司授权不得商用。

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