下载一种抛光模具微结构表面的抛光头以及抛光装置的技术资料

文档序号:19915516

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本实用新型公开了一种抛光模具微结构表面的抛光头以及抛光装置,抛光头外表面由符合预设柔性要求且相互独立的软毛覆盖,每一根软毛的根部固定连接于抛光头外表面,每一根软毛的毛尖自由搁置,本实用新型采用软毛带动磨粒,通过磨粒本身的滚动,形成稳定的去除...
该专利属于香港理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过香港理工大学授权不得商用。

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