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基于二维硒纳米片的固体光探测器及其制备方法技术
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下载基于二维硒纳米片的固体光探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:19906750
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本发明提供了一种基于二维硒纳米片的固体光探测器,包括基底、依次设置在基底上的隔离层和光吸收层,以及间隔设置在光吸收层上的源极和漏极,源极和漏极之间形成的沟道结构暴露出部分光吸收层,光吸收层的材料包括二维硒纳米片。本发明提供的光探测器性能良好...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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