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金属层能够相对于衬底的一个表面选择性沉积在所述衬底的另一个表面上。在一些实施例中，所述金属层相对于第二含硅表面选择性沉积在第一金属表面上。在一些实施例中，可以任选地在实施所述选择性沉积工艺之前使发生所述选择性沉积的反应室钝化。在一些实施例中...
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