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一种用于测试和标定场发射电子源阵列的场发射显微镜系统，该系统的连接关系是：主光源通过半反射镜片和电机驱动镜与副光源共同产生光源照明；在光路子系统中，图像依次经过玻璃真空腔壁、电机驱动镜头和半反射镜片产生目镜图像；高速摄像机生成高帧率图像和低...
该专利属于姚智伟所有，仅供学习研究参考，未经过姚智伟授权不得商用。

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